太阳能组件工厂实训系统V-ETZ1000C

可完成实训内容：

◎ 实训一、实现对太阳能组件原材料的认识

◎ 实训二、掌握太阳能电池组件生产的设备工艺流程

◎ 实训三、掌握太阳能电池组件生产的加工工艺流程

◎ 实训四、太阳能生产设备的使用

◎ 实训五、实现太阳能电池组件光电性能检测

◎ 实训六、掌握太阳能电池组件质量因素的检测

部分仪器展示

四探针

数字式四探针测试仪是半导体材料的电阻性能测量 设备。仪器由主机、测试台、四探针探头等部分组 成，测量数据既可由主机直接显示，加以分析，然后 以表格，图形方式统计分析显示。

◆ 测量范围：电阻率：0.0001～2000Ωcm(可扩展) 方块电阻：0.001～20000Ω(可扩展) 电导率：0.0005～10000s/cm 电阻：0.0001～2000Ωcm

◆ 模拟电阻测量相对误差：小于等于0.3%±1字

◆ 恒流源：电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA 四档，各档电流连续可调

少子寿命

◆ 少子寿命测试仪配备有红外光源，可测量包括硅块、 硅棒、硅芯、检磷棒、检硼棒、籽晶、硅片等的少子寿 命及锗单晶的少子寿命。

◆ 高频振荡源：用石英谐振器，振荡频率：30MHz

◆ 前置放大器：放大倍数约25，频宽2 Hz-1 MHz

◆ 测量方式：采用对标准曲线读数方式

◆ 仪器测试精度：≤±0.5％ ◆ 可测少子寿命范围：0.1μS～7000μS

◆ 测试电阻率范围：≥0.1Ωcm 可扩展到 0.01Ωcm

◆ 配备光源类型：波长：980±30nm

PN级测试

◆ 导电类型鉴别仪采用整流法和温差法来判断单晶 (或多晶)硅的导电类型(N型或P型)，显示屏直接显 示导电类型。

◆ 可判断硅材料的电阻率范围： 温差法：10-4 Ω·cm～104 Ω·cm 整流法：10-2 Ω·cm～104 Ω·cm

◆ 显示方式：用N型和P型显示屏直接显示 ◆ 探头：整流法：采用三根探针，采用碳化钨针； 温差法：采用冷热两根探笔，探笔材料为钨棒，热笔 采用PTC发热体加热

椭偏仪

多角度激光椭偏仪 使用 632.8nm 波长 HeNe 激光 器，对测量薄膜厚度，折射率和吸收系数有非常出色 的精度。 能够分析单层膜，多层膜和大块材料（基 底）。

◆ 自动对准镜/显微镜，用于样品校准 ◆ 以太网接口连接到PC

◆ 高精度样品校准，使用光学自动对准镜和显微镜

◆ 多角度测量，可完全支持复杂应用和精确厚度

◆ 快速简易测量，可选择不同的应用模型和入射角度

◆ 应用包含：微电子、光电、磁存储、生命科学等领域