集成电路制造仿真工艺软件
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集成电路IC 制造工艺主要包括：制膜、光刻、刻蚀、掺杂和辅助5 个单元，每个单元又包括：理论知识：主要包括知识点、
讲课视频和作业；实验实训（工程）：主要包括工作原理、工艺参数设置、生产操作和质量控制，系统自动记录和打分作业和实
践的成绩。
关键词：
碳中和系统 | 能源互联网系统 | 智能微网系统
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